真空燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。為了保證粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉變等順利進行，燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行的控制。
真空燒結爐也具有潤滑劑燒除、預燒結及高溫燒結的功能。潤滑劑含量多的壓坯可先在一般爐中燒除，然后再在真空爐內燒結。
真空燒結爐內部通常是由加熱部分和隔熱保溫兩部分組成的燒結區。加熱形式有電熱元件（如碳管、碳棒）加熱、中頻感應加熱兩種。爐子的冷卻采用水夾套冷卻。為了加速冷卻，可向爐內通入氫、氮、氬等氣體。
1、溫度控制：PID自動控制溫度，數字顯示（可編程度30段曲線；全自動升溫、保溫、降溫）上限報警、偏差報警、程序運行結束自動停止、無需人值守（可做成一鍵抽真空升降溫，全程PLC控制）
2、溫控儀表線性電流輸出，觸發器移相觸發反并聯雙向可控硅。
3、控溫熱電偶采用S分度熱電偶
4.警報動作：
①超溫報警：爐內溫度上升達到報警溫度時，自動切斷電源，報警提示燈亮。
②斷偶報警：熱電偶開路，儀表報警并自動斷電。
